MIRUC日本米拉克光學(xué)XY 軸驅(qū)動平臺的工作原理是什么

更新時間：2025-09-19 點(diǎn)擊次數(shù)：212

MIRUC米拉克的XY軸驅(qū)動平臺通過精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)（如齒條-小齒輪和燕尾榫）實(shí)現(xiàn)平滑移動，利用抗振動設(shè)計(jì)保持穩(wěn)定，并通過可選的光電編碼器或線性編碼器實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，從而達(dá)成微米甚至納米級的高精度定位。、

?? 核心組件與技術(shù)特點(diǎn)

MIRUC米拉克光學(xué)XY軸驅(qū)動平臺的高精度源于其幾個核心組件和技術(shù)的協(xié)同工作：

組件/技術(shù)	描述	優(yōu)勢
齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)	平臺的核心傳動方式，通過手柄旋轉(zhuǎn)驅(qū)動小齒輪，帶動齒條實(shí)現(xiàn)平臺線性移動。	嚙合力度經(jīng)精密校準(zhǔn)，避免過緊或過松，確保平滑移動。
燕尾榫滑動技術(shù)	采用高精度燕尾榫結(jié)構(gòu)。	確保平臺在移動過程中無晃動，滑動平滑且耐用性高。
抗振動設(shè)計(jì)	螺栓固定部件使用粘彈性材料。	有效吸收振動和沖擊，防止螺釘松動，提升長期穩(wěn)定性。
交叉滾柱導(dǎo)軌	部分高階型號采用線接觸的淬火滾柱替代傳統(tǒng)滾珠。	提升剛性和導(dǎo)向精度，減少摩擦并允許更高負(fù)載。
高精度線性編碼器	可選配集成編碼器（如增量式線性編碼器），實(shí)現(xiàn)納米級分辨率（如10nm）和全閉環(huán)控制。	實(shí)時校正位置誤差，實(shí)現(xiàn)納米級分辨率和高的定位精度。
模塊化設(shè)計(jì)	支持單軸（X/Y/Z）、雙軸（XY）或三軸（XYZ）組合。	通過標(biāo)準(zhǔn)接口（如φ14軸安裝孔和φ32鏡筒接口），靈活集成于顯微鏡、光學(xué)檢測設(shè)備等系統(tǒng)。

?? 典型應(yīng)用場景

憑借其高精度和穩(wěn)定性，MIRUC米拉克XY軸驅(qū)動平臺廣泛應(yīng)用于：

工業(yè)顯微鏡：用于樣品臺的高精度定位，實(shí)現(xiàn)快速聚焦和精確觀察。
光學(xué)檢測與半導(dǎo)體：在PCB曝光機(jī)、晶圓切割設(shè)備中執(zhí)行微米級對位。
自動化集成：通過電機(jī)驅(qū)動模組（如步進(jìn)電機(jī)或線性磁軸電機(jī)）升級為電動平臺，支持高速掃描（最高200mm/s）。

?? 總結(jié)與提示

MIRUC日本米拉克光學(xué)XY軸驅(qū)動平臺的工作原理，是其精密機(jī)械設(shè)計(jì)、高質(zhì)量材料、抗振技術(shù)以及可選閉環(huán)控制共同作用的結(jié)果。其優(yōu)勢在于極低的動態(tài)偏差（如雙向重復(fù)性±0.5μm）和模塊化擴(kuò)展能力。

在選擇和使用這類平臺時，有幾點(diǎn)需要注意：

精度與負(fù)載：平臺的移動精度（如直線度）和承載負(fù)載（kgf）是關(guān)鍵參數(shù)，需根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選擇合適型號。
手動與自動：手動型號依賴操作者手感，如需更高自動化，可結(jié)合電機(jī)驅(qū)動模組實(shí)現(xiàn)納米級閉環(huán)控制。
環(huán)境因素：雖然平臺具有抗振動設(shè)計(jì)，但外部強(qiáng)烈的振動或溫度波動仍可能影響精度，應(yīng)在穩(wěn)定的環(huán)境中使用。