在半導體制造、制藥等領域，一滴水中的細微雜質都可能帶來巨大損失

在制造業和科研領域，超純水的質量直接關系到產品的性能和良率。作為水質監測領域的企業，日本HORIBA堀場推出的系列電阻率計，憑借其精密測量性能和的穩定性，成為半導體、制藥、電子等行業超純水監測的理想選擇。

技術原理：精確測量背后的科學

HORIBA電阻率計采用雙電極法進行測量，通過連接專門的電阻率傳感器（ERF系列），精確測量水樣中的電阻率和溫度參數。

這些設備的核心優勢在于其高精度的溫度補償功能。由于水的電阻率隨溫度變化極為敏感，HORIBA電阻率計使用鉑電阻溫度計（Pt 1000Ω）作為溫度補償元件，能夠根據超純水的溫度特性，自動將測量值補償到參考溫度（通常為25℃）下的電阻率值。

更值得一提的是，用戶可以自由設置溫度補償的標準溫度值，滿足特定條件的測量需求，如測量溫熱去離子水等特殊應用場景。

產品系列：滿足多樣化需求

HORIBA提供了多種型號的電阻率計，以適應不同的安裝環境和使用需求。以下是其主要產品系列：

HE-480R：面板安裝型四線制傳輸

HE-480R是一款面板安裝型電阻率計，采用四線制傳輸方式，提供高精度溫度補償功能。

• 測量范圍：電阻率覆蓋0-100.0 MΩ?cm，溫度測量范圍0-100℃

• 主要特點：小巧的體積，高的超純水測量精度，以及先進的溫度補償算法

• 適用場景：半導體、電子、食品和制藥行業的UPW（超純水）連續監測

HE-300R：現場安裝型二線制傳輸

HE-300R是專為現場安裝設計的電阻率計，采用二線制傳輸，適合惡劣工業環境。

• 堅固設計：工作溫度范圍-20~60℃，防護等級IP65，符合CE標記和FCC規則

• 智能功能：同時顯示液體溫度，具備自診斷功能，可即時檢測傳感器錯誤

• 電源特性：采用24V DC供電，功耗僅0.6W或更低，節能高效

HE-960RW：雙通道高性能型號

HE-960RW是一款面板安裝型雙通道電阻率計，支持同時測量兩個點位的水質參數。

• 雙通道設計：可連接兩個傳感器同時測量，實現高性能、高精度和總體成本降低

• 通信能力：配備RS-485通信功能，便于系統集成

• 性能：在15°C~35°C水溫范圍內，能將18 MΩ·cm電阻率范圍內的測量值波動控制在最小0.02 MΩ·cm范圍內

GC-96RW：超純水專用雙通道電阻率計

GC-96RW是專為超純水測量設計的雙通道電阻率計，可連接兩種不同檢測單元常數的傳感器。

• 靈活性：同時支持檢測單元常數0.1/cm和0.01/cm的傳感器

• 應用覆蓋：既可連接超純水設備中使用的鈦檢測單元，也可連接清洗裝置中使用的碳檢測單元

• 高精度溫度測量：具備可輸入鉑測量電阻元件偏差功能，不必進行溫度校正就能獲得±0.2℃以內的溫度測量精度

技術優勢：精準可靠的測量保障

HORIBA電阻率計在超純水測量領域展現出多項技術優勢：

1. 高精度測量與穩定性

HORIBA電阻率計具有的測量重復性和線性度。以HE-480R為例，其重復性和線性均達到≤±0.5%F.S.（等效輸入），確保長期測量的可靠性。

HE-960RW更進一步，將重復性提高至≤±0.1%F.S.，能夠檢測極微小的水質變化。

2. 靈活的輸出與報警功能

這些電阻率計提供多種輸出選項和報警功能，便于系統集成和過程控制。

HE-480R提供1點4~20mA DC傳輸輸出和2點觸點輸出，可用于上下限控制、故障警報和維護操作。

HE-960RW則提供2點4~20mA DC輸出和4個獨立的觸點報警，滿足更復雜的監控需求。

3. 先進的自我診斷功能

HORIBA電阻率計內置自診斷系統，能夠實時監測設備狀態，及時發現傳感器故障、溫度傳感器短路和斷線等問題。

這一功能大大減少了意外停機時間，提高了系統的整體可靠性。

4. 環境友好設計

所有HORIBA電阻率計均采用無鉛焊接工藝，符合RoHS指令，減少了對環境的影響。

應用領域：關鍵行業的守護者

HORIBA電阻率計在多個關鍵行業發揮著重要作用：

半導體制造業

在半導體制造過程中，超純水的質量直接影響芯片的良率和性能。HORIBA電阻率計能夠連續監測UPW水質，確保清洗工藝的效果。

制藥行業

制藥工藝用水對水質有嚴格要求。HORIBA電阻率計提供的高精度測量，確保制藥用水符合相關藥典標準。

食品與飲料行業

食品飲料生產過程中，水質是影響產品安全的重要因素。HORIBA電阻率計幫助生產企業監控水質純度，保障產品安全。

電力與能源行業

發電廠特別是核電站的水質控制對設備安全和效率至關重要。HORIBA電阻率計為這些行業提供了可靠的水質監測方案。

創新與發展：面向未來的技術演進

隨著工業4.0和物聯網技術的快速發展，HORIBA電阻率計正朝著更高智能化、更強集成能力的方向發展：

• 通信能力增強：新型號如HE-960RW已配備RS-485通信功能，支持更便捷的系統集成和數據傳輸

• 多參數監測：趨勢表明，電阻率計正從單一參數測量向多參數集成監測發展，滿足復雜工藝的監控需求

• 遠程監控與維護：借助物聯網技術，HORIBA電阻率計逐步實現遠程監控和維護功能，降低運營成本

總結

日本HORIBA堀場電阻率計憑借其精密測量能力、可靠穩定性和廣泛適應性，已成為超純水監測領域的產品。

無論是半導體行業的純度要求，還是制藥食品行業的品質管控需求，HORIBA都能提供量身定制的解決方案。

隨著工業技術不斷發展，對水質測量的要求將愈發嚴格，HORIBA電阻率計將繼續在水質監測領域發揮關鍵作用，為各行業提供可靠、精確的測量保障。