在半導體和液晶制造的無塵世界中，一粒微塵就可能造成數百萬的損失，而ULVAC愛發科的密閉式電機羅茨泵正是這些產業的守護者。

在現代科技產業中，真空技術是半導體、液晶制造、精密化工等領域的核心支撐。羅茨泵，作為中真空范圍的關鍵設備，其性能直接關系到整個真空系統的效率和穩定性。

日本ULVAC愛發科作為真空技術的企業，其采用密閉式電機設計的羅茨泵，憑借獨特的技術優勢和的可靠性，在制造領域占據了重要地位。

01 創新原理：密閉式電機的技術突破

ULVAC愛發科羅茨泵采用的密閉式電機，實質上是一種屏蔽電機技術，通過封閉的設計實現了革命性的突破。

傳統真空泵的電機通常通過軸封與真空環境隔離，但這些機械密封件長期使用后難免會出現磨損，導致潤滑油泄漏，污染真空環境和工藝產品。

ULVAC的密閉式電機設計解決了這一行業痛點。它通過采用屏蔽電機，消除了空氣/真空機械密封，使得電機與泵腔之間隔離。 這種設計可以在清潔的環境中使用，不用擔心漏油問題。

密閉式電機的核心技術在于其特殊的絕緣和冷卻系統。電機內部線圈采用專門的絕緣材料，能夠抵抗油蒸汽和化學氣體的侵蝕，確保在苛刻環境下的長期穩定運行。

與普通電機相比，這種設計還顯著降低了故障風險和維護需求，為連續生產工藝提供了可靠保障。

02 產品系列：全面滿足多樣化需求

ULVAC愛發科羅茨泵擁有多個產品系列，每個系列都針對特定的應用場景和需求而設計，展現了其技術的全面性和適應性。

PRC系列是ULVAC的明星產品，專為對清潔度要求特別高的半導體和液晶制造工藝而設計。 該系列包括PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A和PRC-018A等多種型號，大抽速從280立方米/小時到1500立方米/小時不等。

PRC系列采用屏蔽式三相異步電動機，功率從0.75千瓦到5.5千瓦不等，全部采用水冷冷卻方式，確保了高效散熱和穩定運行。

PMB系列則是ULVAC的通用型羅茨泵，具有更廣泛的適用性。 該系列可以選擇表面處理或大氣壓驅動型，甚至可以在空冷下運轉，提供了更大的靈活性。

PMB系列采用陽極氧化鋁表面處理，具有高表面硬度和優異的耐腐蝕性，可有效防止泵內部劃傷和腐蝕。

NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合設計的，其特點是腔體內沒有潤滑油，即使面對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。

該系列選用比標準電機容量大一級的電機，實現在高吸入壓強下的運轉。

03 性能特點：技術優勢解析

ULVAC愛發科密閉式電機羅茨泵具有多項性能優勢，使其在工業應用中表現。

無油設計是ULVAC羅茨泵的核心優勢之一。 由于泵殼室內沒有潤滑油，即使面對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發揮穩定的性能。 這一特性使得ULVAC泵在化工、鍍膜等對油污染敏感的應用中尤為重要。

耐腐蝕性是另一大亮點。 主要部件均采用陽極氧化鋁處理，表面硬度高，耐腐蝕性能優異，可防止泵內部劃傷和腐蝕。 也可以根據實際需要選擇不進行表面處理的型號。

大氣壓驅動能力通過安裝變頻器實現，可以在整個壓力范圍內運行，大幅縮短排氣時間。 由于可與低真空泵同時啟動，與標準型相比，能有效縮短排氣時間。

ULVAC羅茨泵還采用封閉式電機設計，特別是PRC系列，通過采用屏蔽電機，消除了大氣/真空的機械密封，用戶可以在干凈的環境中使用，不用擔心漏油問題。

靈活的配置選項滿足了不同應用場景的需求。PRC系列提供標準型、X型和F型等多種型號，分別適用于普通氣體排氣、想抑制水分吸附對極限壓力影響的環境，以及腐蝕性氣體、可燃氣體和氧化性氣體等苛刻條件。

04 應用領域：廣泛工業場景的真空解決方案

ULVAC愛發科密閉式電機羅茨泵憑借其性能，在多個工業領域找到了用武之地。

在半導體和液晶顯示器制造過程中，ULVAC的PRC系列羅茨泵發揮著不可替代的作用。 其無油蒸汽特性防止了產品污染，封閉式電機設計確保了生產環境的潔凈度。

真空鍍膜應用，包括氣相沉積、濺射和離子鍍等工藝，都離不開ULVAC羅茨泵的支持。 在這些過程中，羅茨泵協助創造并維持所需的高真空環境，確保鍍膜質量均勻一致。

在化工和制藥行業，ULVAC羅茨泵同樣廣泛應用，特別是在真空干燥、冷凍干燥和真空脫氣等工藝中。 其耐腐蝕設計能夠應對各種化學蒸汽，確保長期穩定運行。

分析設備和泄漏測試系統中也能見到ULVAC羅茨泵的身影。 在這些精密設備中，羅茨泵提供快速、可靠的真空環境，保證測試結果的準確性。

熱處理爐、熔煉爐以及氣體置換、填充、真空絕熱等應用也都是ULVAC羅茨泵的傳統優勢領域。 其高可靠性和穩定性確保了這些工業過程的順利進行。

05 技術規格：核心參數詳解

ULVAC愛發科各系列羅茨泵都有其特定的技術規格，滿足不同應用場景的需求。

以PRC系列為例，不同型號的性能參數有所區別：

PRC-003A的大抽速在50Hz情況下為280立方米/小時，大吸氣壓力為1.2×103Pa，極限壓力為4.0×10-1Pa。

PRC-006A的大抽速在50Hz情況下為500立方米/小時，大吸氣壓力為1.3×103Pa，極限壓力為6.7×10-1Pa。

PRC-012A和PRC-018A在50Hz情況下的大抽速分別達到1000立方米/小時和1500立方米/小時。

在電機規格方面，PRC系列采用屏蔽式三相異步電動機。 PRC-003A配備0.75千瓦（2極）電機，PRC-006A配備2.2千瓦（2極）電機，PRC-012A和PRC-018A則分別配備3.7千瓦和5.5千瓦的2極電機。

冷卻系統對于羅茨泵的穩定運行至關重要。PRC系列采用水冷方式，冷卻水溫度要求在5～30℃之間。 PRC-003A和PRC-006A的冷卻水量分別為2升/分鐘和3升/分鐘。

外形尺寸和重量也是設備選型時需要考慮的因素。PRC-003A的外形尺寸為296×575×260毫米，重量為51公斤；而大的PRC-018A尺寸為406×989×340毫米，重量達到150公斤。

06 選型指南：如何選擇合適的羅茨泵

面對ULVAC豐富的產品線，如何選擇合適的羅茨泵成為用戶關注的重點。以下是一些選型的關鍵考慮因素：

氣體類型是首要考慮因素。對于普通氣體排氣，可選擇標準型號；對于腐蝕性氣體、可燃氣體和氧化性氣體，則應選擇表面處理并使用氟油的F型號。

抽速要求直接決定了泵的型號大小。根據應用場景的大氣體負載，選擇具有相應抽速的泵型。PRC系列從280立方米/小時到1500立方米/小時的抽速范圍，可以滿足大多數應用需求。

極限壓力要求也是一個關鍵因素。PRC系列的極限壓力在4.0×10-1Pa到6.7×10-1Pa之間，確保泵在高效區內運行。

安裝環境同樣不可忽視。根據現場空間選擇適合的安裝方式，并考慮冷卻方式的選擇——水冷或空冷，不同冷卻方式對配套設施的要求不同。

特殊需求也不容忽視。如需要大氣壓驅動，應選擇帶變頻器的型號；如對清潔度有高要求，則應選擇PRC系列等專用型號。

07 維護保養：確保長期穩定運行

正確的使用和定期維護是保證ULVAC愛發科羅茨泵長期穩定運行的關鍵。用戶需遵循一系列操作規范，以充分發揮設備性能。

油品管理是維護的重要一環。雖然羅茨泵本身是無油的，但與之配套的輔助泵可能需要使用油品。 應定期檢查油位和油質，按推薦周期更換潤滑油。PRC系列通常使用ULVOIL R-42礦物油，也可根據特殊需求選擇氟油。

冷卻系統維護對于水冷型羅茨泵至關重要。應確保冷卻水流量和水溫在要求范圍內——PRC系列的冷卻水溫度要求在5～30℃之間，流量根據型號不同從2升/分鐘到3升/分鐘不等。

定期檢查和清潔是預防性維護的基礎。定期清潔泵外部，檢查是否有異常振動或噪音。檢查各連接部位是否有松動，密封部位是否有泄漏。

對于在高負荷條件下運行的泵，如在高吸入壓力下連續運行且經常在大氣和真空中反復排氣的情況，建議加強監控和維護頻率，以保護泵并延長其使用壽命。

長期停用時的保護措施也不可忽視。長期不使用時，應排凈冷卻水，特別是冬季防止凍裂；對泵進行必要的防銹處理；定期盤車，防止部件粘連；恢復使用前應進行全面的檢查和測試。

從半導體芯片的微觀世界到大型工業熱處理設備，ULVAC愛發科密閉式電機羅茨泵以其的性能和可靠性，為現代制造業提供了堅實的真空技術基礎。

隨著新材料、新工藝的不斷涌現，ULVAC愛發科將繼續推動羅茨泵技術的創新，在追求更高清潔度、更高效率、更高可靠性的道路上不斷前行，為制造業的發展提供強有力的支持。