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詳細介紹
Osaka Vacuum大阪真空小型通信復合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型通信復合分子泵
全面安裝
輕巧設計
節能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
多種通信模式
用途
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學部件制造
加速器，放射線設施，核聚變研究
熱處理
研究開發
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 型號 | TG60F | TG60F-20 | |
| 吸氣口法蘭 | ISO-R63、CF63、(KF40)※4 | ||
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 60 | |
| N2(附加金屬保護網) (L/s) | 55 | ||
| H2 (L/s) | 22 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 極限壓力 | VG?ISO-R/CF (Pa) | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| VG?ISO-R/CF (Torr) | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大氣體流量※1 | 自然風冷 N2 (sccm) | 10 | |
| 制風冷 N2 (sccm) | 20 | ||
| 啟動時間 | (min) | 1.5-2 | |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 800 （6） | |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧25 | |
| 重量※2 | ISO-R/CF(kg) | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器型號※3 | TC65 | TC66 | |
| 輸入電壓（V） | DC24V | AC100-230V(±10%) | |
| 所需最大電力（W) | 120W | 160VA | |
※1：輔助泵的容量是25L/min情況下的最大容許流量
※2：TG60F的情況。TG60F-20查看右方記載。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可選擇泵和控制器一體型(TC65)或者是分離式型(TC66)
※4：關于吸氣口法蘭KF40的規格請另行咨詢銷售人員。
[ 使用環境溫度 ]
極限壓力保證環境溫度是10～23℃。另外，容許環境溫度是8～38℃
[ 對應氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。
產品咨詢
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公司地址：龍華街道龍華大道906號電商集團7層